Đơn vị hành chính département được Hội đồng Lập hiến quy định để thay thế cho đơn vị hành chính province cũ với cấu trúc hợp lý hơn. Chúng cũng được thiết kế để cố ý phá vỡ các khu vực có tính lịch sử của Pháp nhằm xóa bỏ các khác biệt về văn hóa và xây dựng một quốc gia đồng nhất hơn. Đa số các tỉnh được đặt tên theo một hoặc nhiều con sông chính của khu vực hoặc một đặc điểm bên ngoài nào đó.

Số lượng các tỉnh, ban đầu có 83 tỉnh, đã tăng lên thành 130 tỉnh vào năm 1810 với sự mở rộng lãnh thổ của nước Cộng hòa và Đế quốc (xem Tỉnh (Hà Lan) để xem các tỉnh Hà Lan bị sáp nhập). Sau khi Napoleon bị đánh bại vào 1814-1815, số lượng tỉnh giảm xuống còn 86 tỉnh. Hội nghị Wien đưa nước Pháp trở về với diện tích như trước chiến tranh; tổng số tỉnh là 86 do có ba tỉnh cũ đã chia tách. Vào năm 1860, Pháp giành được Comté de Nice và Savoy, dẫn đến tạo thêm 3 tỉnh mới. Hai tỉnh được thành lập từ lãnh thổ Savoyard mới, còn tỉnh Alpes-Maritimes được tạo từ Nice và một phần của tỉnh Var. 89 tỉnh này được gán số thứ tự dựa trên thứ tự ABC của chúng.

Ba tỉnh trong vùng Alsace-Lorraine (Haut-Rhin, Bas-Rhin, và Moselle) bị nhượng cho Đế quốc Đức vào năm 1871, sau khi Pháp bị đánh bại trong Chiến tranh Pháp-Phổ. Một phần nhỏ của tỉnh Haut-Rhin, có tên Territoire de Belfort, bị tách rời khỏi phần còn lại của Alsace-Lorraine và nước Pháp.

Vào năm 1919, sau Thế chiến I, Pháp lấy lại Alsace-Lorraine. Territoire de Belfort không được tái sáp nhập vào Haut-Rhin, mà trở thành một tỉnh đầy đủ vào năm 1922, trở thành tỉnh thứ 90 của nước Pháp.

Việc tái tổ chức lại vùng Paris (1968) và phân chia Corse (1975) đã bổ sung thêm sáu tỉnh, đưa số tỉnh lên 100 tỉnh. Những tỉnh mới này bao gồm tỉnh hải ngoại Guyane (Guyane thuộc Pháp) ở Nam Mỹ, Guadeloupe và Martinique ở Quần đảo Antilles nhỏ, Réunion và Mayotte ở Ấn Độ Dương.